UVLED解膠機(jī)是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動(dòng)解膠設(shè)備。許多晶圓半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中，需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來，然后進(jìn)行劃片加工處理，最后通過UVLED光源對固定好的晶圓切片進(jìn)行照射，使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化，從而降低與切割膜膠帶之間的粘性，從而達(dá)到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來，UVLED解膠機(jī)完美的解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序。

UVLED解膠機(jī)采用箱體式結(jié)構(gòu)，機(jī)器內(nèi)部配有UVLED紫外光固化設(shè)備，可根據(jù)客戶的使用需求，定制波段大小、照射面積、光照強(qiáng)度等參數(shù)。采用智能顯示屏控制系統(tǒng)，可隨意調(diào)節(jié)功率大小、照射時(shí)長，使用非常方便！同時(shí)UV脫膠機(jī)箱口采用手拉式結(jié)構(gòu)，方便晶圓切片的放置和取出；另配有門禁感應(yīng)裝置，拉動(dòng)箱口門把手時(shí)，UVLED光源設(shè)備會(huì)自動(dòng)停止，避免紫外光源的外溢。

UVLED解膠機(jī)還有哪些優(yōu)勢之處呢？UVLED紫外光是單波段“冷光源”設(shè)備，被照射基材表面升溫小，有效解決了晶圓行業(yè)在加工處理時(shí)產(chǎn)生的熱損害現(xiàn)象。UVLED解膠機(jī)的光源設(shè)備使用壽命比較長，平均使用壽命大約在20000h左右，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)UV汞燈的使用時(shí)長。UVLED光源是單波段紫外光，通過電能向光能的轉(zhuǎn)換，光電轉(zhuǎn)換有效率高，可有效節(jié)約電量的使用。不含“汞”污染，工作時(shí)不會(huì)產(chǎn)生臭氧，影響工作環(huán)境！

陸芯精密劃片機(jī)于2022年3月24日下線了公司首臺(tái)6寸晶圓尺寸的專用劃片機(jī)：XL3252，目前已經(jīng)開始接受全球預(yù)定。

此次陸芯推出的6寸專用精密劃片機(jī)，在軟件方面繼承和優(yōu)化了公司最新的軟件技術(shù)，如：工件形狀的識(shí)別和功能，更友好人機(jī)界面。由于機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)相對最先進(jìn)的XL-6366要簡單。所以，在設(shè)備后期的維護(hù)成本上會(huì)更低，這對于只需要用到6寸劃片機(jī)的廠商來講無疑是個(gè)巨大的福音，并且陸芯在設(shè)備的交貨周期上，也比最先進(jìn)的設(shè)備交期提前不少。