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9.5.13 抗反射涂層ARC∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-02-18 10:12 ? 次閱讀
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Antireflection Coating

撰稿人:北京科華微電子材料有限公司 陳昕

http://www.kempur.com

審稿人:復(fù)旦大學(xué) 鄧海

https://www.fudan.edu.cn

9.5 光掩模和光刻膠材料

第9章 集成電路專(zhuān)用材料

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》下冊(cè)

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