3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產品能得雙重要求。拋開光學光學表面輪廓儀格實惠不說，基于白光干涉原理而研發(fā)生產的SuperView W1系列能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面，檢測結果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。

中圖儀器推出的SuperViewW1系列光學表面輪廓儀采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質。W1系列光學3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型，另可針對不同的客戶需求，在兩種型號間選取不同配置進行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。

產品參數(shù)

產品型號：SuperView W1系列

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

產品型號：SuperView W1-Pro

影像系統(tǒng)：1024×1024

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY位移平臺：尺寸300×300mm，行程200×200mm，電動

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

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