來源：《半導體芯科技》雜志

北京萊伯泰科儀器股份有限公司發(fā)布針對半導體行業(yè)研發(fā)生產的電感耦合等離子體三重四極桿質譜儀LabMS 5000 ICP-MS/MS。

LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工業(yè)標準27MHz固態(tài)發(fā)生器，具有極高的系統(tǒng)穩(wěn)定性；使用MS/MS模式實現(xiàn)受控且可靠的干擾去除，精準去除質量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準確的超痕量分析結果；低背景惰性進樣系統(tǒng)集成氣體稀釋和加氧功能，極大擴展檢測應用范圍；智能軟件平臺HiMass，適用于實驗室的各種分析需求，極大提高工作效率。

LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于監(jiān)控半導體硅材料、第三代半導體材料、濕電子化學品、電子特氣、制程溶劑/光刻膠等的無機元素污染，已通過半導體行業(yè)SEMI S2、SEMI E78認證，助力半導體芯片制造商控制產品質量，提升良率。

萊伯泰科是從事實驗分析儀器研發(fā)、生產和銷售，提供潔凈環(huán)保型實驗室解決方案以及實驗室耗材和相關服務的高新技術企業(yè)，打造的國產電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）系列品牌，廣泛應用于半導體、生命科學、新能源等領域。

萊伯泰科2021年已經對外發(fā)布了電感耦合等離子體質譜儀LabMS 3000 ICP-MS并在多個領域實現(xiàn)了產品銷售，首次實現(xiàn)了國產ICP-MS（電感耦合等離子體質譜儀）在半導體行業(yè)芯片生產線上的應用，打破了國外產品的長期壟斷。本次發(fā)布的新品是在LabMS 3000 ICP-MS產品的基礎上推出的全新一代三重四極桿質譜儀，主要用于無機元素檢測。目前國內半導體行業(yè)用于無機元素檢測的三重四極桿質譜儀以進口產品為主，該產品能夠實現(xiàn)國產替代。

萊伯泰科表示，新產品的發(fā)布進一步豐富了公司分析測試儀器產品線，拓寬了公司產品的應用領域，將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力。目前，該新產品已取得訂單并實現(xiàn)發(fā)貨。

審核編輯：湯梓紅