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電子行業(yè)應該怎樣對靜電壓進行檢測?

HyperBroli ? 來源:HyperBroli ? 作者:HyperBroli ? 2023-04-28 13:43 ? 次閱讀
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如今,許多類型的微電子行業(yè)需要有效控制生產(chǎn)不良率和質(zhì)量可靠性問題,包括集成電路制造(晶圓制造和芯片密封測試)、平板顯示制造(前段TFTFab、中段LCD成盒組裝/OLED組裝后顯示模塊,MEMS(前段晶圓制造與后段器件封裝)等等。

以工廠人體靜電引起的微電子設(shè)備問題為例(HumanBodyModel,人體靜電放電模型),讓我們檢查人體靜電分析與人體靜電相關(guān)的技術(shù)認知和實踐方法。

基于這種情況LED靜電失效機理(正向?qū)o電放電),人體放電產(chǎn)生的放電電流范圍越大,這SMDLED電性失效的風險越高(通常SMDLED工作電流幅值幾毫安)(LCD屏幕模組工廠中LED靜電損傷常稱為壞燈—即通低電流不再發(fā)光);

因此,要有效保護SMDLED不會被工作人員身體上的靜電放電“擊穿”,就必須將工作中操作人員的人體靜電壓管控得足夠低(由LED承載電流*確定人體皮膚電阻)。

因此,在工廠的靜電保護實踐中,必須做的是檢測人體靜電帶電的真實水平,即檢測人體靜電的有效方法,以確認工廠當前的人體靜電控制措施是否足夠有效。如果您不知道怎樣檢測,可以來看看深圳斯泰科微的靜電壓傳感器和人體行走電壓測試儀,多款產(chǎn)品皆可滿足您的需求。

現(xiàn)實情況是,相當多的電子制造工廠采用基于國際工業(yè)的人體靜電壓檢測方法ESD標準(美標ANSI/ESDS20.20、歐標IEC61340-5-1)測試方法,即借助CPM設(shè)備(Charged Plate Monitor,靜電充電板測試儀)。

那么,這種檢測人體靜電(靜電壓)的方法真的能反映人體靜電帶電量嗎?如果人體靜電檢測方法失真,會對工廠人體靜電控制的技術(shù)分析和判斷造成一定的干擾或誤差。

只要你了解CPM基于基本的物理分析,可以明確判斷設(shè)備測量靜電壓及其充電板的電容參數(shù):

CPM通過其充電板與人體串聯(lián),人體靜電并聯(lián)20pF由此產(chǎn)生的人體靜電壓必須明顯低于人體原有的靜電壓(人體靜電荷/人體對地電容)(人體對地電容一般為100pF左右),即,CPM通過測量人體靜電壓獲得的數(shù)據(jù)顯偏小失真。

那么,如何實現(xiàn)無失真檢測人體靜電帶電的目的呢?

其實有CPM方法檢測人體靜電壓,即消除靜電壓測量儀器并聯(lián)電容的影響,即用非接觸式靜電壓計測量人體皮膚(如手掌)的靜電壓。

因此,通過上述人體靜電對SMDLED根據(jù)對放電機制和人體靜電壓檢測方法的分析,電子工廠靜電保護實踐中還有許多其他內(nèi)容需要重新檢測工廠目前的做法是否合理,是否存在偏差。

審核編輯:湯梓紅

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