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用于高功率密度應(yīng)用的碳化硅功率器件

國(guó)晶微第三代半導(dǎo)體碳化硅SiC ? 來(lái)源:國(guó)晶微第三代半導(dǎo)體碳化 ? 2023-03-30 17:37 ? 次閱讀
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交通應(yīng)用中電氣化的趨勢(shì)導(dǎo)致了高功率密度電力電子轉(zhuǎn)換器的快速發(fā)展。高開(kāi)關(guān)頻率和高溫操作是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的兩個(gè)關(guān)鍵因素。然而,這兩項(xiàng)要求都挑戰(zhàn)了硅(Si)基器件的基本極限。新興的寬帶隙碳化硅(SiC)功率器件已成為滿(mǎn)足這些要求的有前途的解決方案。有了這些先進(jìn)的器件,技術(shù)障礙現(xiàn)在已經(jīng)轉(zhuǎn)移到兼容的集成技術(shù)上,該技術(shù)可以在高功率密度轉(zhuǎn)換器中充分利用器件功能。存在許多挑戰(zhàn),本論文探討了一些最重要的問(wèn)題。

首先,商用SiC MOSFET的高溫性能在高達(dá)200攝氏度的溫度下進(jìn)行了廣泛的評(píng)估。靜態(tài)和開(kāi)關(guān)特性表明,該器件在高溫下具有優(yōu)異的電氣性能。同時(shí),器件的柵極氧化層穩(wěn)定性(SiC MOSFET通常存在的一個(gè)已知問(wèn)題)也通過(guò)高溫柵極偏置和柵極開(kāi)關(guān)測(cè)試進(jìn)行評(píng)估。從這些測(cè)試中觀察到器件劣化,并得出結(jié)論,SiC MOSFET的性能和可靠性之間的設(shè)計(jì)權(quán)衡。

為了了解器件與電路寄生效應(yīng)之間的相互作用,進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)參數(shù)研究,以研究雜散電感對(duì)MOSFET開(kāi)關(guān)波形的影響。然后開(kāi)發(fā)一個(gè)小信號(hào)模型來(lái)解釋頻域中的寄生振鈴。從這個(gè)角度,可以更容易和更深入地理解振鈴機(jī)制。使用該模型,直流去耦電容在抑制振鈴方面的影響可以比傳統(tǒng)的時(shí)域分析更直接地進(jìn)一步解釋。還得出了關(guān)于電容選擇的經(jīng)驗(yàn)法則。

然后使用分立式SiC MOSFET開(kāi)發(fā)電力電子構(gòu)建模塊(PEBB)模塊。PEBB概念將功率級(jí)與柵極驅(qū)動(dòng)和保護(hù)等外圍功能集成在一起,只需連接多個(gè)PEBB模塊即可快速可靠地構(gòu)建轉(zhuǎn)換器。提出了高速柵極驅(qū)動(dòng)和功率級(jí)布局設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)SiC MOSFET的快速安全開(kāi)關(guān)?;赑EBB平臺(tái),還比較了最先進(jìn)的Si和SiC功率MOSFET在高頻轉(zhuǎn)換器中的器件特性、溫度影響和損耗分布,從而可以得出SiC MOSFET的特殊設(shè)計(jì)考慮因素。

針對(duì)高溫、高頻和高功率操作,還開(kāi)發(fā)了采用SiC MOSFET裸骰子的集成引線鍵合相臂模塊。高溫包裝材料是根據(jù)廣泛的文獻(xiàn)調(diào)查精心挑選的。詳細(xì)討論了改進(jìn)的基板布局、層壓母線和嵌入式去耦電容器的設(shè)計(jì)考慮因素,并在設(shè)計(jì)階段通過(guò)建模和仿真方法進(jìn)行了驗(yàn)證。在制造的模塊上演示了200°C、100 kHz的連續(xù)操作。通過(guò)與傳統(tǒng)方式設(shè)計(jì)的商用SiC相臂模塊的對(duì)比,還表明本工作提出的設(shè)計(jì)考慮因素允許引線鍵合結(jié)構(gòu)中的SiC器件的開(kāi)關(guān)量是其兩倍。ST只有三分之一的寄生振鈴。

為了進(jìn)一步提高SiC功率模塊的性能,開(kāi)發(fā)了一種新型混合封裝技術(shù),該技術(shù)將平面模塊的小寄生效應(yīng)和占位面積與引線鍵合模塊的易于制造相結(jié)合。最初的概念在帶有SiC JFET的高溫整流器模塊上進(jìn)行了演示。然后提出一種改進(jìn)的結(jié)構(gòu),以進(jìn)一步提高設(shè)計(jì)靈活性并簡(jiǎn)化模塊制造。采用這種結(jié)構(gòu)的SiC MOSFET相臂模塊幾乎在沒(méi)有任何寄生振鈴的情況下成功達(dá)到了器件的開(kāi)關(guān)速度限制。

最后,提出一種新的開(kāi)關(guān)環(huán)緩沖電路,通過(guò)磁耦合抑制寄生振鈴,而不影響器件的導(dǎo)通或開(kāi)關(guān)損耗。對(duì)這一概念進(jìn)行了理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。介紹了這種電路與電源模塊的初始集成,并提出了可能的改進(jìn)。






審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:用于高功率密度應(yīng)用的碳化硅功率器件的電氣集成

文章出處:【微信號(hào):國(guó)晶微第三代半導(dǎo)體碳化硅SiC,微信公眾號(hào):國(guó)晶微第三代半導(dǎo)體碳化硅SiC】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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