隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體材料的純度越來(lái)越高,半導(dǎo)體材料對(duì)痕量雜質(zhì)的容忍度越來(lái)越低,已經(jīng)發(fā)展成為專(zhuān)門(mén)性的半導(dǎo)體級(jí)痕量雜質(zhì)分析技術(shù)。
季豐電子因應(yīng)市場(chǎng)需求,已正式收購(gòu)了江蘇賽夫特的檢測(cè)業(yè)務(wù),建立起完整的痕量雜質(zhì)分析平臺(tái),專(zhuān)門(mén)服務(wù)于半導(dǎo)體領(lǐng)域的高級(jí)需求。
季豐痕量分析實(shí)驗(yàn)室在原賽夫特檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)上擴(kuò)建而成,測(cè)試項(xiàng)目涵蓋半導(dǎo)體材料的痕量雜質(zhì),半導(dǎo)體生產(chǎn)所用超純化學(xué)品的痕量雜質(zhì),痕量離子及無(wú)塵室VOC等等。歡迎新老朋友前來(lái)參觀、交流!
主營(yíng)業(yè)務(wù)
痕量金屬測(cè)試能力
對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的化學(xué)品進(jìn)行痕量雜質(zhì)測(cè)試,如UPW、HF、HCl、HNO3、H2SO4、H3PO4、NH4OH、Wafer表面、Wafer本體、BOE、SC1、SC2、DEV、H2O2、IPA、NMP等進(jìn)行痕量分析(ppt level);可測(cè)試金屬有Li、Na、Mg、Al、 K、 Cr、 Mn、Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、 In、Sr、 W、 Si、 Ti等;1ppt級(jí)別的檢測(cè)能力;同時(shí)可做同位素分離等。
(左上Angilent ICP-MS 8900、左下WSPSVPD 實(shí)驗(yàn)機(jī)臺(tái)、右邊Angilent ICP-OES5800) 對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的WAFER 正表面和背表面進(jìn)行金屬測(cè)試(VPD-ICP MS)。可測(cè)試金屬有Li、Na、 Mg、 Al、 K、 Cr、 Mn、 Fe、 Ni、 Pb、 Co、 Ca、 Ga、 As、 Cu、 Zn、 Ag、 Ba、 Tl、 B、 Bi、 Cd、In、 Sr、 W、 Si、 Ti等。10^8atom/cm2級(jí)別的檢測(cè)能力。
痕量離子濃度測(cè)試能力
(ThermoFisher ICS6000) 離子測(cè)量有F-、Cl-、NO3- 、SO42-、PO43-、NH4+等。10ppt級(jí)別的檢測(cè)能力。
(瑞士萬(wàn)通 905 雙通全自動(dòng)電位滴定儀酸堿+氧化還原) 可精確定量半導(dǎo)體原材料,生產(chǎn)工藝過(guò)程中的化學(xué)品濃度。如:Slurry、BOE、TMAH、 SC1、SC2 等化學(xué)品濃度。
(瑞士萬(wàn)通 852 卡爾費(fèi)休庫(kù)侖雙通道水分儀)
可以精確定量半導(dǎo)體原材料,生產(chǎn)工藝過(guò)程中化學(xué)品中水分含量從0.01%-1%都能精準(zhǔn)測(cè)試。 GC-MS 應(yīng)用:分析來(lái)自FAB環(huán)境樣品中的VOC含量(VOC:Volatile Organic Compound)
(Agilent 5977-8860+TD100 熱脫附) 傅里葉變換紅外分析儀是用來(lái)分析WAFER中的C、O整體濃度分布的儀器。 分析原理:全光譜吸收對(duì)比,精度PPM-PPB。 即可以單點(diǎn)濃度分析,也可以面掃描分析。
(Nicolet iS50 FTIR)
化學(xué)實(shí)驗(yàn)室測(cè)試能力
至此,季豐已在全國(guó)各地先后成立了10余個(gè)實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)辦公室、工程量產(chǎn)生產(chǎn)線,總面積40000多平方米。為了建立強(qiáng)大的工程技術(shù)中心,季豐斥巨資完善各類(lèi)驗(yàn)證分析的儀器設(shè)備和材料分析設(shè)備,企業(yè)團(tuán)隊(duì)規(guī)模也增加了20倍,每年的復(fù)合增長(zhǎng)率都超過(guò)80%,業(yè)務(wù)范圍覆蓋軟硬件設(shè)計(jì)、精密機(jī)械、儀器設(shè)備、特種測(cè)試、極速封裝、失效分析、可靠性認(rèn)證、材料分析等8大領(lǐng)域,涉及半導(dǎo)體、光伏、電子濕化學(xué)等領(lǐng)域。
季豐的市場(chǎng)天花板在不斷提升,服務(wù)的企業(yè)數(shù)量從200家增加到近2000家,未來(lái)還能做更多的設(shè)備及服務(wù),歡迎新老客戶前來(lái)參觀、委案。
季豐電子
上海季豐電子股份有限公司成立于2008年,致力于集成電路及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的軟硬件及設(shè)備研發(fā)與專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù),為客戶提供一站式的綜合解決方案。公司的四大業(yè)務(wù)版塊包括:基礎(chǔ)技術(shù)中心、硬件軟件方案、特種封裝測(cè)試、儀器設(shè)備研發(fā)。
季豐電子通過(guò)高新技術(shù)、專(zhuān)精特新小巨人、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定,通過(guò)了ISO9001、ISO17025、CMA、CNAS等認(rèn)證??偛课挥谏虾#谡憬?、北京、深圳、成都等地設(shè)有分公司。
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原文標(biāo)題:季豐再添新業(yè)務(wù),加快建立痕量雜質(zhì)分析平臺(tái)
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