01概述

GDSII文件格式通常用于存儲二維幾何數(shù)據(jù)。在本主題中，我們將引導(dǎo)您了解將器件設(shè)計導(dǎo)出到GDSII文件的步驟、格式和ZUI佳實踐。我們還將展示一個簡單但真實的硅光子學(xué)GDSII示例。

02GDSII導(dǎo)出自動化

我們可以使用一些腳本命令將結(jié)構(gòu)導(dǎo)出到GDSII。但是，基本的GDSII導(dǎo)出腳本命令以自動方式從Lumerical工具導(dǎo)出結(jié)構(gòu)的功能有限。在下面的視頻中，我們使用一些可以自動執(zhí)行GDSII導(dǎo)出過程的高級腳本進(jìn)行了演示。

03流程

第1步：

下載相關(guān)文件GDS_auto_export.zip，解壓縮文件夾并將所有文件放在同一目錄中。

第2步：

打開模擬文件GDS_auto_export_test.fsp。本示例中我們將導(dǎo)出所有結(jié)構(gòu)，除了曲面、球體、金字塔對象。在自動導(dǎo)出過程中，禁用的對象將被忽略。

第3步：

在同一實例中打開并運行腳本文件GDS_auto_export.lsf 。這些腳本將創(chuàng)建結(jié)構(gòu)并將其導(dǎo)出成 GDSII 文件，其中頂部單元格與結(jié)構(gòu)組具有相同的名稱，并包含與結(jié)構(gòu)組中的每個對象對應(yīng)的子單元列表。請參閱GDS_auto_export.lsf文件第一部分中的說明。

第4步：

使用版圖工具（例如，KLayout）打開并檢查生成的GDSII文件。

注：

1.解壓縮文件夾并將所有文件放在同一工作目錄中。

2.屬于層的模擬文件中的元素由 z min 和 z max 坐標(biāo)標(biāo)識。因此，一個層對應(yīng)于一組唯一的zmin和zmax。

3.更多詳細(xì)信息請參考GDSII Export Automation。

4. GDS_auto_export.lsf 相關(guān)內(nèi)容參考如下。

審核編輯：湯梓紅