XD107系列壓電掃描臺(tái)是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用。

XD107系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)部采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達(dá)nm級，定位響應(yīng)時(shí)間也可達(dá)ms級。

該壓電掃描臺(tái)可根據(jù)應(yīng)用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?XYZ三維運(yùn)動(dòng)

?行程可達(dá)100μm

?承載能力0.4kg

?中心通孔50×50mm

產(chǎn)品應(yīng)用

?掃描顯微鏡

?掩模/晶圓定位

?干涉、度量衡學(xué)

?生物技術(shù)

?微操作

引線連接器

XD107系列壓電掃描臺(tái)的連接器共有2組，每組有3個(gè)，一組用于電壓驅(qū)動(dòng)信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應(yīng)的連接器類型。

電壓位移曲線

下圖中為XD107系列壓電掃描臺(tái)的XY向的驅(qū)動(dòng)電壓與位移曲線。

線性度曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：XD107.XY100Z20S

運(yùn)動(dòng)方向：X、Y、Z

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：XY80/Z64μm

行程范圍（0~150V）：XY100/Z80μm

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：3nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：Z0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：≤30μrad

空載諧振頻率：XY220/Z160Hz

帶載400g諧振頻率：XY110/Z80Hz

承載能力：0.4kg

靜電容量：XY3.6/Z1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

通孔尺寸：50×50mm

外形尺寸：94×94×24.5mm

重量：420g

應(yīng)用舉例