Zeiss Xradia 620 Versa

3D X-Ray技術(shù)原理

2D X-Ray利用X射線在不同材質(zhì)不同密度物品中衰減程度不同得到不同襯度的圖像。但平面這種二維圖像難以表征三維結(jié)構(gòu)信息。

3D X-Ray通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品得到樣品各個(gè)方向上的二維投影，再通過(guò)計(jì)算機(jī)技術(shù)合成得到樣品三維影像，并可借由虛擬截面技術(shù)得到樣品任一位置的截面圖像。

3D X-Ray分析應(yīng)用

可應(yīng)用于半導(dǎo)體/材料科學(xué)/生命科學(xué)/工程地質(zhì)領(lǐng)域。

半導(dǎo)體封裝、MEMS、3D 封裝、PCB板結(jié)構(gòu)影像拍攝

封裝device的失效檢測(cè)(Open/Short/Crack/Metal Ion migration/Hotstop)

封裝高空間分辨率(~500nm)

虛擬截面技術(shù)提供了傳統(tǒng)SEM、FIB縱切之外一種非破壞性新選擇

材料成分對(duì)比清晰可見(jiàn)

可區(qū)分出低原子序數(shù)元素(如鋰、硅、鋁)

Zeiss Xradia 620 Versa

Xradia 620 Versa是Zeiss最前沿的亞微米X射線掃描顯微鏡。Xradia 620 Versa結(jié)合兩級(jí)放大技術(shù)與高通量X射線源技術(shù)可實(shí)現(xiàn)500nm的真實(shí)空間分辨率以及最小40nm的體素分辨率。

兩級(jí)放大技術(shù)

通過(guò)將X射線信號(hào)先轉(zhuǎn)化為光信號(hào)，再通過(guò)物鏡放大的技術(shù)可得到超越傳統(tǒng)3D X-Ray的亞微米級(jí)高分辨率圖像。

高通量X射線源

蔡司 Xradia 600 系列 Versa 采用突破性的高功率(25 W)X 射線源技術(shù)，可以提供大大高出上一代產(chǎn)品的 X 射線通量。更高通量的X射線源將帶來(lái)更快的斷層掃描，更高的襯度和信噪比。

HART(高縱橫比斷層掃描)

Xradia 620 Versa獨(dú)有的HART模式通過(guò)在扁平樣品長(zhǎng)邊方向采集較少投影張數(shù)、短邊方向采集較多投影張數(shù)得到更高質(zhì)量圖像。HART模式為扁平狀的半導(dǎo)體封裝和PCB電路板提供了更高效的解決方案。

原文標(biāo)題：介紹 3D X-Ray

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審核編輯：湯梓紅