電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/梁浩斌)2019年7月，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省宣布，將對(duì)用于智能手機(jī)及電視機(jī)的半導(dǎo)體等制造過(guò)程中需要的3種材料加強(qiáng)面向韓國(guó)的出口管制。這3種材料包括用于半導(dǎo)體清洗的高純度氟化氫、用于柔性OLED顯示面板的氟聚酰亞胺、以及光刻膠。

但日本的出口管制，反而是促進(jìn)了韓國(guó)本土半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。近日韓媒報(bào)道，截至2021年12月，韓國(guó)在包含半導(dǎo)體、顯示器、汽車、電器電子、機(jī)械金屬和基礎(chǔ)化學(xué)共六大領(lǐng)域的100個(gè)核心戰(zhàn)略項(xiàng)目上，對(duì)日本的依賴度持續(xù)降低，從2019年12月的30.9%，下降至2021年12月的24.9%。

如今距離日本宣布實(shí)施對(duì)韓國(guó)的半導(dǎo)體材料出口管制，已經(jīng)過(guò)去將近三年。在這三年間，韓國(guó)的半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)度到底如何了?他們又做出了哪些行動(dòng)?

對(duì)日依賴難以擺脫，上游設(shè)備、材料受制約

根據(jù)韓國(guó)貿(mào)易協(xié)會(huì)在2019年的報(bào)告，日本實(shí)施出口管制的三種半導(dǎo)體材料氟化氫、氟聚酰亞胺、光刻膠，韓國(guó)對(duì)其的依賴度分別為93.7%、91.9%、43.9%。而其中依賴度較低的光刻膠，實(shí)際上韓國(guó)大量從比利時(shí)進(jìn)口的光刻膠，是由日本公司JSR的比利時(shí)子公司生產(chǎn)的，因此當(dāng)時(shí)韓國(guó)光刻膠對(duì)日本公司依賴度其實(shí)超過(guò)80%。

很快，就在日本宣布出口限制的一個(gè)月后，韓國(guó)政府宣布了一項(xiàng)計(jì)劃，短期內(nèi)政府以供需風(fēng)險(xiǎn)較大的20個(gè)項(xiàng)目為主，爭(zhēng)取在1年內(nèi)實(shí)現(xiàn)自主生產(chǎn)以及實(shí)現(xiàn)進(jìn)口來(lái)源多元化。同時(shí)在中長(zhǎng)期計(jì)劃中，未來(lái)7年內(nèi)對(duì)其余80個(gè)核心戰(zhàn)略項(xiàng)目投入7.8萬(wàn)億韓元(約400億人民幣)以上研發(fā)資金，支持韓國(guó)本土企業(yè)并購(gòu)、引進(jìn)海外技術(shù)等，目標(biāo)在5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)相關(guān)戰(zhàn)略項(xiàng)目產(chǎn)品穩(wěn)定供應(yīng)。

而經(jīng)過(guò)這些措施，韓國(guó)政府表示，100個(gè)戰(zhàn)略項(xiàng)目對(duì)日本的依賴度從2019年12月的30.9%下降了6%，至2021年12月的為24.9%。同期，韓國(guó)氟化氫進(jìn)口量從3630萬(wàn)美元縮減至1250萬(wàn)美元，對(duì)日本氟化聚酰亞胺的依賴甚至接近于零。

不過(guò)，這只是一面之詞，因?yàn)轫n國(guó)政府所提到的100個(gè)戰(zhàn)略項(xiàng)目產(chǎn)品，一直沒(méi)有公開(kāi)過(guò)具體名單，而實(shí)際情況可能并沒(méi)有對(duì)外宣稱的看起來(lái)那么美好。根據(jù)日媒援引的數(shù)據(jù)顯示，2021年前6個(gè)月，韓國(guó)從日本進(jìn)口的氟化聚酰亞胺反而同比增長(zhǎng)15%，達(dá)到4430萬(wàn)美元。

同時(shí)，韓國(guó)國(guó)際經(jīng)濟(jì)政策研究所在去年的報(bào)告中也表示，韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)依然嚴(yán)重依賴日本。2020年韓國(guó)從日本進(jìn)口的半導(dǎo)體材料占總進(jìn)口量的38.5%，而第二大半導(dǎo)體材料進(jìn)口來(lái)源是中國(guó)(20.5%)、其余分別為美國(guó)(11.3%)、中國(guó)臺(tái)灣(8.3%)、越南(4.1%)。

除了半導(dǎo)體材料之外，日本還是韓國(guó)最大半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口國(guó)。同期韓國(guó)從日本進(jìn)口的半導(dǎo)體設(shè)備金額為30.1億美元，其次是美國(guó)的16.9億美元、新加坡的15.3億美元。

無(wú)論如何，如今日本依然是全球最大的半導(dǎo)體材料出口國(guó)，光掩膜版、光刻膠、高純度氟化氫等在全球市場(chǎng)中占比都超過(guò)70%。雖然目前韓國(guó)企業(yè)在半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)替代上都開(kāi)始大量投入，但要完全擺脫對(duì)日本的依賴恐怕在短期內(nèi)依然不太可能實(shí)現(xiàn)。

韓國(guó)國(guó)產(chǎn)替代穩(wěn)步推進(jìn)

在2019年7月日本實(shí)施對(duì)韓國(guó)的出口管制后，主要的影響是韓國(guó)不再享有日本出口戰(zhàn)略物資和重要技術(shù)時(shí)簡(jiǎn)化手續(xù)的優(yōu)待措施，也就是出口審查時(shí)間被延長(zhǎng)至約3個(gè)月。由于高純度氟化氫具有強(qiáng)腐蝕性，保存時(shí)間很短，且韓國(guó)企業(yè)對(duì)于上游半導(dǎo)體材料的庫(kù)存一般是1-2個(gè)月，所以在當(dāng)時(shí)日本半導(dǎo)體材料出口限制對(duì)韓國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)造成了很大影響。

于是尋找氟化氫的替代供應(yīng)商成為了當(dāng)時(shí)韓國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的重點(diǎn)工作。很快，他們將目光投向中國(guó)、俄羅斯等，LG顯示、SK海力士等都傳出正在測(cè)試中國(guó)產(chǎn)氟化氫的消息。僅2個(gè)月后，在2019年9月SK海力士宣布其位于中國(guó)無(wú)錫的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)完全使用中國(guó)生產(chǎn)、韓國(guó)提純的氟化氫取代日本產(chǎn)品。

而LG顯示也在同時(shí)間宣布完成對(duì)韓國(guó)本土生產(chǎn)的高純度氟化氫測(cè)試，符合產(chǎn)量和成本要求，并開(kāi)始在OLED面板產(chǎn)線上使用。不過(guò)相比于半導(dǎo)體芯片，顯示面板生產(chǎn)中所使用的氟化氫純度要求相對(duì)較低，也更容易完成替代。

SK Materials在2020年6月，宣布實(shí)現(xiàn)99.999%(5N)高純度的氟化氫氣體量產(chǎn)，這個(gè)時(shí)間節(jié)點(diǎn)剛好是日本對(duì)韓實(shí)施出口管制一周年。另一家韓國(guó)化工企業(yè)SoulBrain在更早前就宣布，將在韓國(guó)國(guó)內(nèi)設(shè)立高純度氟化氫工廠，生產(chǎn)純度達(dá)到99.99999999%(10N)的氟化氫，并將雜質(zhì)降低至萬(wàn)億分之一。據(jù)了解，Soul Brain是國(guó)內(nèi)氟化氫供應(yīng)商多氟多的長(zhǎng)期客戶，在今年雙方剛簽訂了新的長(zhǎng)期采購(gòu)協(xié)議，并預(yù)付了2.37億元的預(yù)付款。但SoulBrain具體現(xiàn)在有沒(méi)有實(shí)現(xiàn)10N級(jí)氟化氫量產(chǎn)，目前還未找到相關(guān)公開(kāi)資料。

不過(guò)，單從純度來(lái)看，韓國(guó)依然無(wú)法產(chǎn)出與日本相同品質(zhì)的氟化氫產(chǎn)品，以森田化學(xué)為例，他們所供應(yīng)的氟化氫純度可以高達(dá)99.9999999999%(12N)。據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，氟化氫的純度每高萬(wàn)分之一，對(duì)于DRAM芯片而言在制造過(guò)程中的精準(zhǔn)度就會(huì)提高0.1%，可以提高良率和降低生產(chǎn)成本。

除了氟化氫之外，去年年底韓國(guó)光刻膠供應(yīng)商Dongjin Semichem宣布，與三星電子合作研發(fā)的EUV光刻膠，通過(guò)了三星電子的可靠性測(cè)試。三星電子在近兩年時(shí)間中投資了9家半導(dǎo)體材料和設(shè)備相關(guān)公司，包括半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備、晶圓清洗設(shè)備、氟化氫、封裝用陶瓷、掩膜版等，總投資金額近2800億韓元(約14.5億人民幣)。其中，近日有消息稱，三星顯示開(kāi)始嘗試導(dǎo)入韓國(guó)國(guó)產(chǎn)的OLED金屬掩膜，而此前OLED用的精細(xì)金屬掩膜(FMM)是由日企DNP(大日本印刷)占據(jù)壟斷地位。

今年2月，韓國(guó)石化和電子材料制造商Jaewon Industrial宣布實(shí)現(xiàn)了丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)的商業(yè)化，PGMEA是半導(dǎo)體制造中常用的溶劑，比如在EUV曝光過(guò)程中，清洗沒(méi)有光敏反應(yīng)的部件上的光刻膠，而EUV工藝需要純度為99.999%以上的PGMEA。Jaewon Industrial預(yù)計(jì)在今年上半年，自產(chǎn)PGMEA可以被用于EUV工藝中，未來(lái)每年可以減少約1000億韓元(約5億人民幣)的進(jìn)口溶劑。

另外，由于俄烏沖突造成的氖氣等電子特種氣體供應(yīng)緊張，韓國(guó)電子特氣廠商TEMC表示近期完成了高純度氖氣生產(chǎn)設(shè)備的安裝，設(shè)計(jì)年產(chǎn)能約22000標(biāo)準(zhǔn)立方米，相當(dāng)于韓國(guó)需求的16%，下半年開(kāi)始供應(yīng)。

寫(xiě)在最后

面對(duì)其他國(guó)家的出口管制，中國(guó)可能是最有發(fā)言權(quán)的了，近幾年海外針對(duì)我國(guó)高科技行業(yè)的制裁、出口管制等層出不窮。與韓國(guó)類似的是，中國(guó)并不缺芯片設(shè)計(jì)技術(shù)的能力，而是上游材料、設(shè)備、設(shè)計(jì)軟件等對(duì)外的嚴(yán)重依賴。而整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)歉叨却怪狈止さ?，因此整體發(fā)展需要全產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同，上游材料和設(shè)備等發(fā)展，需要下游制造企業(yè)的支持。比如像三星電子與Dongjin Semichem合作研發(fā)光刻膠的模式，就是由三星電子提供測(cè)試環(huán)境。

好消息是，中國(guó)擁有足夠大的市場(chǎng)需求，經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展，在半導(dǎo)體材料部分細(xì)分領(lǐng)域上，比如中國(guó)唯一通過(guò)ASML認(rèn)證的氣體公司華特氣體、靶材供應(yīng)商江豐電子等等，已經(jīng)能夠跟上國(guó)際同期領(lǐng)先水平。當(dāng)然，這距離半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)替代，依然有很長(zhǎng)的路要走。

原文標(biāo)題：受日本管制三年后，韓國(guó)半導(dǎo)體材料依然難以擺脫陰霾

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審核編輯：湯梓紅