AHS量子霍爾傳感器,也叫量子阱霍爾傳感器,利用分子束外延技術(shù) 制造薄膜晶片,以及量子阱霍爾效應(yīng)(QWHE)設(shè)計(jì),這使得量子霍爾傳 感器具備其他霍爾傳感器所不具有的優(yōu)良特征。
AHS是英國(guó)曼切斯特大學(xué)創(chuàng)始人Mohamed Missous,英國(guó)皇家工程院院士、曼徹斯特大學(xué)教授孵化,教授專注于研究利用砷化鎵中的量子阱霍爾效應(yīng)磁傳感技術(shù)。中科院一開始研究的是方勢(shì)阱技術(shù),后發(fā)現(xiàn)量子阱二維平面捕捉電子的能力更強(qiáng)。
AHS量子霍爾傳感器優(yōu)勢(shì):
1、量子阱技術(shù)
2、以砷化鎵為基底,利用分子束外延技術(shù)制造薄膜復(fù)合技術(shù)和器件設(shè)計(jì)和加工等方面所積 累的大量專業(yè)知識(shí),一體化的產(chǎn)品加工,讓傳感器的性能更優(yōu)?!岸S電子氣 (2-DEG)”薄膜,這種結(jié)構(gòu)由 III-V 族化合物制成,具有比coms硅、GaAs、InAs 或 InSb 霍爾效應(yīng)器件和磁電阻器更出色的特性。可以通過(guò)“帶隙工作”控制原子的比例。
兩個(gè)優(yōu)勢(shì)的結(jié)合,能讓量子霍爾傳感器相比SI基霍爾傳感器工作溫度更廣,約為200℃;比InAs 或 InSb霍爾效應(yīng)器件檢測(cè)磁場(chǎng)為范圍更寬,約為20nT-2T;工作頻率更寬,適合波動(dòng)范圍的磁場(chǎng),DC-6MHZ。
“二維電子氣 (2-DEG)”技術(shù)目前在國(guó)內(nèi)僅能做為學(xué)術(shù)上研究,其制作工藝復(fù)雜,理論知識(shí)深厚。
審核編輯:湯梓紅
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