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粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2022-02-24 10:45 ? 次閱讀
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芯明天N82系列直線壓電螺釘采用小巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計,將宏動粗調(diào)與壓電精調(diào)結(jié)合于一體。使用操作簡單方便,容易集成??捎糜?a target="_blank">高精度鏡架調(diào)節(jié)、運動臺驅(qū)動、微調(diào)節(jié)等應(yīng)用。

特點

?手動調(diào)節(jié)與壓電調(diào)節(jié)相結(jié)合?粗調(diào)9.53mm?精調(diào)16μm

應(yīng)用

?鏡片調(diào)節(jié)架?運動平臺驅(qū)動器?宏微操作調(diào)節(jié)等

宏微復(fù)合結(jié)構(gòu)

壓電螺釘是手動粗調(diào)與壓電精調(diào)相結(jié)合的直線壓電促動器,手調(diào)行程可達9.53mm,精調(diào)行程16μm。使用過程中可以通過手動粗調(diào)節(jié)mm級大行程,再通過壓電精調(diào)實現(xiàn)nm級的位移與精度,適用于大行程且具有高精度要求的應(yīng)用。

1)宏動粗調(diào)

N82系列壓電螺釘?shù)暮陝哟终{(diào)是通過外部殼體上的微細螺紋來實現(xiàn)的,手動旋轉(zhuǎn)滾花部分進行直線的宏動調(diào)節(jié)。

該宏動調(diào)節(jié)對螺紋的加工精度要求非常高。

2)微動粗調(diào)

N82系列壓電螺釘?shù)膬?nèi)部集成了PZT壓電陶瓷,通過對其施加電壓來實現(xiàn)壓電螺釘?shù)奈泳{(diào)運動。

3)鎖緊螺母

針對宏動調(diào)節(jié),配備有鎖緊螺母,可對宏動調(diào)節(jié)后的位置進行鎖定。

體積小易集成

N82系列壓電螺釘?shù)耐庑纬叽缧∏?,適于集成,例如用于鏡片調(diào)節(jié)架。它既可以進行鏡片的粗調(diào),又可以進行光學上的精調(diào),一舉兩得。

此外,它也可以用來單軸或多軸驅(qū)動運動平臺等。

粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

*單位mm

真空兼容

N82.16K-B1系列壓電螺釘采用了特殊的真空材料、真空兼容引線、連接器等,為真空兼容版本,可在真空中使用。

精調(diào)整位移與電壓曲線

粗調(diào)與精調(diào)相結(jié)合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

推薦控制器

N82系列壓電螺釘?shù)募{米級精調(diào),推薦使用芯明天E53系列壓電控制器,它的體積小,帶寬可達10kHz,可選擇模擬數(shù)字信號進行控制。

技術(shù)參數(shù)

宏動行程范圍:9.53mm

微動行程范圍(0~150V):16μm微動驅(qū)動電壓:0~150V靜電容量:0.8μF工作溫度:-25~85℃材質(zhì):鋼

審核編輯:湯梓紅

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