在各種光學(xué)應(yīng)用中，隨著通光口徑的不斷增大和分辨率的不斷提高，或應(yīng)用環(huán)境的變化，各類微振動都會對光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生不利的影響，例如會極大地降低成像或光通信的質(zhì)量。因此，就需要針對這種微振動設(shè)計出相應(yīng)的隔振系統(tǒng)。

為了能夠設(shè)計出更適合光學(xué)載荷的隔振系統(tǒng)，就需要對微振動進(jìn)行充分的了解與研究，以及對隔振的性能進(jìn)行實(shí)際的、充分的試驗驗證。因此，一種高可靠性、高精度的微振動模擬器將是隔振系統(tǒng)設(shè)計過程中必要的工具之一。并且，因光學(xué)載荷整個系統(tǒng)的重量較大，該微振動模擬器的承載能力一定要強(qiáng)!

針對微振動模擬或擾動模擬應(yīng)用環(huán)境的特點(diǎn)，芯明天以自身先進(jìn)的壓電納米定位與控制技術(shù)，研發(fā)、生產(chǎn)了多款振動模擬用壓電偏擺臺。并且，每種型號都具有高精度、大承載的特點(diǎn)，完全可滿足振動模擬的各項要求。XD500系列壓電偏擺臺就是其中之一。

XD500系列壓電偏擺臺為θx、θy二維偏轉(zhuǎn)的壓電偏擺臺，它的承載能力高達(dá)10kg，偏轉(zhuǎn)角度為±0.29mrad，分辨率可達(dá)0.1μrad。XD500系列是專為大負(fù)載偏轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計，它非常適于大負(fù)載偏擺運(yùn)動實(shí)驗，如空間擾動模擬、振動模擬等。

XD500系列壓電偏擺臺是基于多壓電陶瓷結(jié)構(gòu)設(shè)計而成，每軸采用多個壓電陶瓷結(jié)構(gòu)，以推拉模式、差分驅(qū)動形成偏轉(zhuǎn)運(yùn)動。XD500系列壓電偏擺臺，整體采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)、具有無機(jī)械摩擦、響應(yīng)速度快、重復(fù)定位精度高等優(yōu)點(diǎn)。

特點(diǎn)

? θx、θy二維偏轉(zhuǎn)? 承載能力達(dá)10kg? 適于大負(fù)載偏轉(zhuǎn)應(yīng)用? 可選配閉環(huán)反饋傳感器

應(yīng)用

? 微振動模擬器? 光束偏轉(zhuǎn)/掃描? 重型鏡持偏轉(zhuǎn)? 空間擾動模擬等

偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動電壓曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：XD500.T0S/K-B1

運(yùn)動自由度：θx、θy

驅(qū)動控制：3路驅(qū)動

標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度(0~120V)：0.46mrad/軸

偏轉(zhuǎn)角度(0~150V)：0.58mrad/軸

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.2/0.1μrad

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/20N

空載諧振頻率：1000Hz

帶載10kg諧振頻率：230Hz

承載能力：10kg

靜電容量：21.5μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：5kg

審核編輯：湯梓紅