光刻機(jī)的核心部件是什么
一臺(tái)高端的光刻機(jī)由上萬個(gè)零部件構(gòu)成，光刻機(jī)的主要核心部件主要分為兩個(gè)部分：分別是對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和紫外光源。
目前對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)主要有兩大難題，精密的機(jī)械工藝和對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)。精密的機(jī)械工藝目前只有美國、德國少數(shù)國家有這方面的專利，而對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)其實(shí)就是鏡片，在這方面我國一直處于落后的狀態(tài)。
關(guān)于紫外光源，光刻機(jī)對(duì)光源的要求十分高，一是要有適當(dāng)?shù)牟ㄩL，二是光要有足夠的能量，三是光能量且必須要均勻的分布在曝光區(qū)。
審核編輯：姚遠(yuǎn)香
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