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中北大學微納加工中心4英寸MEMS工藝線

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2021-04-06 11:06 ? 次閱讀
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中北大學微納加工中心依托動態(tài)測試技術(shù)省部共建國家重點實驗室(培育基地)、儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室、微納慣性傳感與集成測量教育部工程研究中心、山西省微米納米工程技術(shù)研究中心等科研機構(gòu)及中北大學儀器與電子學院科研團隊,中心形成了完整的微/納器件設(shè)計、加工、測試研發(fā)平臺,在國內(nèi)高校中處于先進水平。


中心占地面積1000平方米,擁有凈化面積達500平方米的4英寸MEMS工藝線,配置了國際一流的微納加工、測試、封裝設(shè)備,具備硅基MEMS矢量水聽器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計、熱電堆紅外探測器等全套工藝加工能力,可為國內(nèi)外同行提供微納器件研發(fā)、工藝代工、工藝測試等技術(shù)服務。


中北大學微納加工中心,熱忱歡迎有需求的客戶來電咨詢并開展技術(shù)合作!

責任編輯:lq

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:合作 | 中北大學微納加工中心4英寸MEMS工藝線

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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