本次主要是針對MEMS力學傳感器主要廠商及產(chǎn)品進行了整理。 MEMS是多學科交叉的復雜系統(tǒng)，其產(chǎn)業(yè)鏈類似于傳統(tǒng)半導體產(chǎn)業(yè)，整個產(chǎn)業(yè)鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應用方案環(huán)節(jié)。MEMS傳感器的應用已滲透進各行各業(yè)，如工業(yè)自動化、航天技術、軍事工程、資源開發(fā)、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療診斷、交通運輸?shù)取? 2018 年，全球MEMS傳感器市場規(guī)模約為146億美元，同比增長10.8%，消費電子、汽車電子和工業(yè)控制是應用MEMS最多的三個下游板塊，其中智能終端的需求是近年最大的增長點。Yole Development 預測，2018-2022年MEMS傳感器全球市場規(guī)模年化增速預計將達14.85%。

我國MEMS 產(chǎn)業(yè)仍處于追趕階段，目前進口率在60%以上，具有廣闊的國產(chǎn)替代空間。根據(jù)賽迪顧問統(tǒng)計，2018年，我國MEMS 傳感器行業(yè)規(guī)模523 億元，同比增長19.5%，預計2018-2020 年年化增速為17.41%

此外，MEMS傳感器種類繁多，可按不同方式進行分類，常見的一種是將其分為溫度傳感器、聲學傳感器、光學傳感器、壓力傳感器，下圖是一種更為詳細的劃分方式，電子發(fā)燒友后續(xù)將會對各類MEMS傳感器進行整理。

本周主要對MEMS力學傳感器主要廠商及產(chǎn)品型號做了梳理，以下是具體內(nèi)容。

TDK-應美盛 MPU-6500 MPU-6500是該公司的第二代6軸Motion Tracking設備，適用于智能手機，平板電腦，可穿戴傳感器和其他消費市場。MPU-6500采用3x3x0.9mmQFN封裝，是世界上最小的6軸Motion Tracking器件，并結合了最新的TDK Invensense設計創(chuàng)新，適用于MEMS陀螺儀和加速度計，可顯著減小芯片尺寸和功耗，同時時間改善性能和成本。新型MPU-6500滿足了高性能應用的市場需求，例如行人導航，上下文感知廣告和其他基于位置的服務，并支持新興的可穿戴傳感器應用的規(guī)范，例如遠程健康監(jiān)測，運動和健身跟蹤，以及其他消費者應用程序。

ANALOG DEVICES 1、ADXL345BCCZ ADXL345是一個輕巧、薄型、超低功率的3軸加速度器,具有高分辨率(13位)，測量高達±16g的特性，數(shù)字輸出數(shù)據(jù)格式為16位二進制補碼,可通過SPI(3或4線)或者I2C數(shù)字接口訪問。ADXL345非常適合移動設備應用，它可用于測量傾斜感應應用中的重力靜態(tài)加速度,以及由運動或沖擊產(chǎn)生的靜態(tài)加速度，它的高分辨率(3.9mg/LSB)使其可測量小于1.0°的傾角變化.

2、ADXL3596/7 數(shù)字輸出ADXL357是低噪聲密度、低功耗的3軸加速度計， ADXL356/ADXL357提供業(yè)界領先的低噪聲，有著隨溫度變化而失調(diào)漂移最小，此外其具有長期穩(wěn)定性，從而使校準精度小的應用成為可能。 低漂移，低噪聲和低功耗ADXL357能夠在振動較大的環(huán)境（例如機載IMU）中進行準確的傾斜測量。ADXL356在較高頻率范圍內(nèi)的低噪聲非常適合無線狀態(tài)監(jiān)測。

意法半導體 1、LIS2DH12TR LIS2DH12TR具有測量高達±400g加速度的特性，電源電壓范圍在1.71到3.6V。具有低功耗模式、自動喚醒功能和FIFO緩沖器，可用于存儲數(shù)據(jù)，從而減少主機處理器負載和系統(tǒng)功耗。

2、LIS3DH

LIS3DH是一個超低功率的高性能3軸線性加速度器,屬"nano"系列,帶數(shù)字I2C/SPI串行接口標準輸出。此設備具有超低功率運行模式,有著先進的省電和智能內(nèi)嵌功能，可由兩個獨立的慣性喚醒以及由設備自身位置配置以生成中斷信號。中斷發(fā)電器的閾值和計時可由飛行的終端用戶編程。LIS3DH有一個集成的32級先進先出(FIFO)緩沖,允許用戶存儲數(shù)據(jù)，用于減少對主控處理器的干預.

3、L3GD20 MEMS運動傳感器三軸數(shù)字輸出陀螺儀，連接STMicroelectronics的L3GD20陀螺儀用來測量設備的角速度。該器件的最大電壓為3.6V，溫度范圍為-40°C至85°C。 博世 SMA130 博世新推出的SMA130三軸加速度傳感器為汽車信息娛樂系統(tǒng)與車載信息服務系統(tǒng)應用提供信息。SMA130的尺寸僅為2x2毫米，非常易于安裝。盡管尺寸非常小，但該傳感器具有從±2g~±16g測量范圍與14位高分辨率。極小的尺寸結合如此高分辨率意味著對傳感器的電路設計提出了巨大挑戰(zhàn)。但是，SMA130工作電流僅130uA，十分節(jié)能。5種自定義節(jié)能模式能夠?qū)⒐慕档椭?uA。比如，當停車時間較長時，此低能耗水平成為了應用于防盜系統(tǒng)的關鍵條件，從而避免傳感器為電瓶造成過多的負擔。在不到2ms的時間內(nèi)即可啟用某種模式。這樣保證了各應用能快速地接收來自傳感器輸出的對應的可靠信息。

恩智浦 MMA8652FCR1 NXP Semiconductors MEMS加速表具有3軸（X、Y、Z），用于檢測由墜落、傾斜、運動、定位、沖擊和振動導致的力度變化。具有快速響應時間、高靈敏度、低電耗、低電壓操作的特點。 美新 IMU380ZA-200 IMU380ZA采用小型24 x 37 x 9.5 mm模塊：并為此類設備設置了新標準，偏置不穩(wěn)定性<10度/小時，角度隨機游走(ARW)<0.75 ，完全校準的性能超過-40至+ 85℃溫度范圍，低功耗<250mw，以及spi和uart通信，可與客戶的系統(tǒng)電子設備緊密集成。 ?

敏芯 MSA300 MSA300是蘇州敏芯微電子技術股份有限公司出品的一款超低成本超小封裝的三軸數(shù)字加速計, MSA330芯片傳感器采用中芯國際CMOS集成MEMS器件制造技術和基于硅片通孔（TSV）的晶圓級封裝（WLP）技術，將三軸加速度傳感器與CMOS ASIC垂直整合，形成一個獨立的的單芯片系統(tǒng)封裝。

旭化成微電子 AK 09940 傳統(tǒng)的三軸磁傳感器已被用于位置跟蹤應用，然而，在某些情況下，由于磁場噪聲，無法獲得足夠的性能。AK 09940超低噪聲三軸傳感解決了這一問題，提高了AR和VR的磁位置跟蹤精度。AK 09940適用于磁粉檢測和金屬污染三軸測量，測量濕場、微小變化和磁場畸變，具有較高的精度。此外，AK 09940具有非常低的功耗電流，適用于小型電池可穿戴和物聯(lián)網(wǎng)器件的三軸測量。

原文標題：工程師最關注的產(chǎn)品梳理系列：MEMS力學傳感器主要廠商及產(chǎn)品

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