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激光器芯片的三種條形結(jié)構(gòu)

電子工程師 ? 來源:芯片工藝技術(shù) ? 作者:芯片工藝技術(shù) ? 2021-02-16 09:26 ? 次閱讀
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條形激光器可以在Y方向上對注入電流進行限制,也可以對光起到限制作用。從而降低閾值電流。常見的三種條形激光器:

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三種條形的區(qū)別是:第一個直接采用介質(zhì)膜做出條形金屬接觸形狀。

第二個是挖掉一部分P砷化鎵接觸層,但是離量子阱還有點距離。

第三個是直接挖到N砷化鎵,然后填充介質(zhì)膜,把發(fā)光有源層都埋進去。

條形結(jié)構(gòu)對電流的現(xiàn)在作用是顯而易見的,但是對光的限制,可能有點繞。

條形結(jié)構(gòu)就是想在芯片的Y方向上,也做出類似x方向的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)出來。電極條看起來似乎沒有波導(dǎo)。

其實由于電流的限制形成了載流子濃度在y方向上的不均勻,從而造成了復(fù)數(shù)折射率的不均勻,也就是說增益本身就可以使它的中間部分產(chǎn)生波導(dǎo)作用,稱為增益導(dǎo)引,由于折射率引起的導(dǎo)引稱之為折射率導(dǎo)引,因為電流是向條形電極的兩邊擴散的,一般我們用拋物線來描述復(fù)數(shù)折射率的變化。

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在電極條形中由于折射率的實數(shù)部分是隨著載流子的濃度的增加而降低的,上圖a中折射率變化實際是負的,有一定的反波導(dǎo)作用,但由于增益波導(dǎo)的作用比較強,總的效果是對光仍有限制作用。

增益導(dǎo)引的缺點是他會造成模式的不穩(wěn)定,因為當受激發(fā)射發(fā)生以后,載流子會大量地復(fù)合掉而改變載流子在y方向的分布,從而改變了增益在y方向上的分布,所以一般來說吧,脊條形中光的模式要比在電極條形中的穩(wěn)定。

因為條寬比作用區(qū)寬度大很多,波導(dǎo)的截面是矩形的,激光器諧振腔鏡面上的光強分布,稱之為激光器的近場圖,可以看出,隨著條寬的增加,高次模開始出現(xiàn),并逐漸增多。如下圖

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實際中更多的采用是第二種條形結(jié)構(gòu),因為第三種刻蝕起來有點麻煩,需要刻蝕量子阱層,這就要和P砷化鎵分開刻蝕,采用第二道工藝,帶來設(shè)備成本和工藝成本,且可能破壞量子阱區(qū)域的晶格結(jié)構(gòu)等,帶來不穩(wěn)定因素。

原文標題:激光器芯片的條形結(jié)構(gòu)

文章出處:【微信公眾號:芯片工藝技術(shù)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

責任編輯:haq

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原文標題:激光器芯片的條形結(jié)構(gòu)

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