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如何做晶圓切割(劃片),晶圓切割的工藝流程

電子設(shè)計(jì) ? 來(lái)源:電子設(shè)計(jì) ? 作者:電子設(shè)計(jì) ? 2020-12-24 12:38 ? 次閱讀
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晶圓切割(即劃片)是芯片制造工藝流程中一道不可或缺的工序,在晶圓制造中屬于后道工序。晶圓切割就是將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒)。

最早的晶圓是用切片系統(tǒng)進(jìn)行切割劃片)的,這種方法以往占據(jù)了世界芯片切割市場(chǎng)的較大份額,特別是在非集成電路晶圓切割領(lǐng)域。鉆石鋸片(砂輪)切割方法是較為常見(jiàn)的晶圓切割方法。新型切割方式有采用激光進(jìn)行無(wú)切割式加工的。

晶圓切割工藝流程主要包括:繃片、切割、UV照射。

晶圓切割將一個(gè)晶圓上單獨(dú)的die通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片切割開來(lái),形成獨(dú)立的單顆的晶片,為后續(xù)工序做準(zhǔn)備。晶圓切割需要用到特定的切割機(jī)刀片。

繃片是一個(gè)切割前的晶圓固定工序,在晶圓的背面貼上一層藍(lán)膜,并固定在一個(gè)金屬框架上,以利于后面切割。

切割過(guò)程中需要用去離子水(DI純水)沖去切割產(chǎn)生的硅渣和釋放靜電,去離子水由專業(yè)制備的小型設(shè)備「純水機(jī)」制備。

UV照射是用紫外線照射切割完的藍(lán)膜,降低藍(lán)膜的粘性,方便后續(xù)挑粒。

P.S.:OFweek君不是技術(shù)出身,現(xiàn)學(xué)現(xiàn)賣的這種概括文章,對(duì)于產(chǎn)業(yè)中的各種基礎(chǔ)概念無(wú)法做到非常準(zhǔn)確的描述。若讀者朋友們對(duì)于文章內(nèi)容準(zhǔn)確性有異議,歡迎添加OFweek君微信(hepinggui2010)告知。若相關(guān)內(nèi)容能形成完整的文章,OFweek君也可以署名文章投稿的形式,將相應(yīng)內(nèi)容發(fā)表在OFweek旗下各個(gè)內(nèi)容平臺(tái)上。感謝大家的支持!

審核編輯:符乾江
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