攀時(shí)擁有超過(guò)2000種適用于離子注入系統(tǒng)的部件產(chǎn)品，已成為全球最大的離子注入部件替代零件供應(yīng)商。材料涉及鎢、鉬、石墨、陶瓷等，涵蓋了從最小的備件到整套離子發(fā)射源。

攀時(shí)從原材料品質(zhì)控制開始，服務(wù)半導(dǎo)體OEM設(shè)備原廠，以及終端客戶，已經(jīng)有超過(guò)三十年的合作經(jīng)驗(yàn)，甚至在某些產(chǎn)品方面，我們可以高于OEM標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)部件。

半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用特點(diǎn)

部件工作溫度高，伴有強(qiáng)腐蝕性氣體和強(qiáng)磁場(chǎng)。這對(duì)產(chǎn)品材質(zhì)提出了極高的要求，所以在應(yīng)用中多集中使用鉬、鎢、石墨、陶瓷等高物理化學(xué)穩(wěn)定性材料。這些材料將確保電子在高達(dá)1?400 ℃的溫度條件下形成并準(zhǔn)確沿著電子路徑進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。

攀時(shí)在離子注入部件領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)

我們基于對(duì)原材料的理解，以O(shè)EM設(shè)備制造商的原始備件為起點(diǎn)，不停的對(duì)備件極限進(jìn)行更深的探索，發(fā)現(xiàn)短板，提出新的設(shè)計(jì)，優(yōu)化改進(jìn)現(xiàn)有方案，找到更合理的升級(jí)方法，延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命，降低客戶PM頻率，延長(zhǎng)設(shè)備開機(jī)時(shí)長(zhǎng)，從而降低整體運(yùn)營(yíng)成本。

例如：在IIP工藝中，MRS葉片濾出電荷或質(zhì)量不正確的離子。只有通過(guò)質(zhì)量分辨槽的離子才能在通向晶片的路徑上繼續(xù)運(yùn)動(dòng)。MRS板因離子束碰撞而產(chǎn)生磨損，側(cè)面角度可減小磨損。但是IIP工藝還涉及化學(xué)反應(yīng)，而且磨損越大，相應(yīng)表面上的角度越尖銳。作為折衷方案，在OEM標(biāo)準(zhǔn)零件中采用92 °的角度。

MRS板（OEM） 攀時(shí)優(yōu)化設(shè)計(jì)MRS板延長(zhǎng)壽命

攀時(shí)在離子注入部件領(lǐng)域的努力

我們一直在追求更高的品質(zhì)，不斷研發(fā)并推出新的產(chǎn)品，為客戶帶來(lái)更有價(jià)值的服務(wù)，同時(shí)，我們致力于：

降低清潔成本

減少維護(hù)工作量

縮短停工時(shí)間

簡(jiǎn)化部件安裝和拆卸

延長(zhǎng)使用壽命

攀時(shí)在離子注入部件領(lǐng)域的產(chǎn)品

我們可以提供超過(guò)100種以上離子注入系統(tǒng)備件，清單如下：

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