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美國(guó)禁運(yùn)光刻、5nm技術(shù)等6項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)!

工程師 ? 來(lái)源:濾波器 ? 作者:濾波器 ? 2020-10-27 10:49 ? 次閱讀
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美商務(wù)部再禁6項(xiàng)新興技術(shù),包括光刻軟件和5nm生產(chǎn)技術(shù)!

最新消息:美國(guó)商務(wù)部工業(yè)安全局(BIS)又對(duì)六項(xiàng)新興技術(shù)實(shí)施了管控,宣布將六項(xiàng)新興技術(shù)添加到《出口管理?xiàng)l例》(EAR)的商務(wù)部管制清單(CCL)中。而這其中包括了極紫外線(EUV)掩模的計(jì)算光刻技術(shù)軟件和5nm 生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù),兩條直指了對(duì)芯片的制造的封鎖。

據(jù)了解,目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達(dá)到了37項(xiàng)。美國(guó)商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)布公告中寫道:“此舉是為了支持關(guān)鍵及新興技術(shù)這一國(guó)家戰(zhàn)略”。

本次被增列商業(yè)管制清單的六項(xiàng)新興技術(shù)為:

混合增材制造/計(jì)算機(jī)數(shù)控工具

特定的計(jì)算光刻軟件

用于為5nm生產(chǎn)精加工晶圓的某些技術(shù)

有限的數(shù)字取證分析工具

用于監(jiān)測(cè)電信服務(wù)通信的某些軟件

亞軌道航天器

據(jù)濾波器微信公眾號(hào)了解,目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達(dá)到了37項(xiàng)。美國(guó)商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)布公告中寫道:“此舉是為了支持關(guān)鍵及新興技術(shù)這一國(guó)家戰(zhàn)略”。、

“關(guān)鍵技術(shù)和新興技術(shù)國(guó)家戰(zhàn)略是保護(hù)美國(guó)國(guó)家安全,確保美國(guó)在軍事、情報(bào)和經(jīng)濟(jì)事務(wù)中保持技術(shù)領(lǐng)先地位的重要戰(zhàn)略部署?!泵绹?guó)商務(wù)部部長(zhǎng)Wilbur Ross說(shuō)道,并表示“美國(guó)商務(wù)部已經(jīng)對(duì)30多種新興技術(shù)的出口實(shí)施了管控,我們將繼續(xù)評(píng)估和確定未來(lái)還有哪些技術(shù)需要管控。”

公告指出,最新的商業(yè)出口管制是依照2019年12月全體大會(huì)上達(dá)成的協(xié)議——《常規(guī)軍備和兩用物品及技術(shù)出口管制瓦森納協(xié)議》實(shí)施的。制定和實(shí)施對(duì)新興技術(shù)的多邊控制符合《2018年出口控制改革法案》(ECRA)的要求后,最終確定管控下列幾項(xiàng)新興和基礎(chǔ)性技術(shù)的出口將對(duì)美國(guó)國(guó)家安全起到至關(guān)重要的作用。

美國(guó)實(shí)施出口管制的六大技術(shù),都與芯片制造中最重要的設(shè)備光刻機(jī)息息相關(guān),尤其是當(dāng)下5nm芯片已成為高端芯片時(shí)代的主流產(chǎn)品,EUV光刻機(jī)在半導(dǎo)體制程的重要意義可想而知。

“用于制造極紫外線掩模的計(jì)算光刻技術(shù)軟件”涵蓋EUV光刻所需的特定軟件,包括與三維(3D)效應(yīng)、掩模陰影效應(yīng)、光照方向效應(yīng)、遠(yuǎn)距離眩光效應(yīng)、鄰近效應(yīng)、抗蝕劑中的隨機(jī)性效應(yīng)以及源掩模優(yōu)化有關(guān)的軟件,這類軟件是在晶圓上做出經(jīng)過(guò)優(yōu)化的光刻膠圖案必需的軟件;而“用于為5nm生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù)”旨在應(yīng)用于面向5nm生產(chǎn)的晶圓,包括對(duì)直徑300 mm的硅晶圓進(jìn)行切片、打磨和拋光以達(dá)到某些標(biāo)準(zhǔn)所需要的技術(shù),以及盡量減小平坦度(或SFQR)和表面缺陷的技術(shù)以及局部光散射體(LLS)。以上兩類技術(shù)都受到國(guó)家安全和反恐管制的約束。

目前全世界唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)只有荷蘭ASML公司,而ASML最大的兩大股東資本國(guó)際集團(tuán)(MSCI)和貝萊德集團(tuán)(BlackRock,Inc.)都是美國(guó)公司,其用于打造EUV光刻機(jī)的高精技術(shù)也有不少為美國(guó)所持有。

美國(guó)商務(wù)部此舉相當(dāng)于直接封鎖了高端芯片的制造技術(shù),針對(duì)的是誰(shuí)不用多說(shuō)。從目前來(lái)看,中國(guó)作為美國(guó)芯片產(chǎn)品最大的采購(gòu)國(guó)之一,受出口管制影響是巨大的。

這是BIS自2018年通過(guò)ECRA法令以來(lái)實(shí)施的第四套新興技術(shù)管控措施。據(jù)濾波器微信公眾號(hào)了解,BIS在此之前曾公布了三份聯(lián)邦文件通知,對(duì)航空航天、生物技術(shù)、化學(xué)、電子、加密、地理空間圖像和海洋領(lǐng)域的31項(xiàng)新興技術(shù)實(shí)施了管制,其中大多數(shù)是在多邊支持下實(shí)施的。其中包括因化學(xué)/生物和反恐理由而受管制的24種化學(xué)武器前體,以及:

分立微波晶體管(Discrete microwave transistors)

操作軟件的連續(xù)性(Continuity of operation software)

Post-quantum密碼學(xué)(Post-quantum cryptography)

用作水聽(tīng)器工作的水下傳感器(Underwater transducers designed to operate as hydrophones)

空中發(fā)射平臺(tái)(Air-launch platforms)

地理空間圖像軟件(單側(cè))(Geospatial imagery software(unilateral))

一次性生物培育箱(Single-use biological cultivation chambers)

總體而言,受新管制影響最大的幾個(gè)行業(yè)是航空航天、生物技術(shù)、化學(xué)、電子、加密、地理空間圖像和海洋行業(yè)。正如BIS所承諾的那樣,新興技術(shù)是加以嚴(yán)格定義的,幾乎都受到多邊管制的約束。

需要注意的是,根據(jù)ECRA規(guī)定,商務(wù)部工業(yè)安全局已于2020年8月27日起就基礎(chǔ)技術(shù)鑒定征求公眾意見(jiàn),公眾意見(jiàn)征詢期將持續(xù)到2020年11月9日,也就是說(shuō),未來(lái)或許還會(huì)有更多新興和關(guān)鍵技術(shù)被列入出口管制清單的可能。

責(zé)任編輯:haq

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