據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，長(zhǎng)瀨集團(tuán)（Nagase）旗下的硅烷光學(xué)納米壓印光刻（NIL）材料提供商Inkron近期對(duì)外宣布，對(duì)納米壓印材料和元件開(kāi)發(fā)設(shè)備進(jìn)行了戰(zhàn)略投資。投資詳情為Inkron從EVG公司購(gòu)入自動(dòng)化紫外納米壓印系統(tǒng)EVG 7200。該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的批量生產(chǎn)。Inkron表示，采用Smart NIL（智能納米壓?。┘夹g(shù)的EVG 7200系統(tǒng)非常適合批量生產(chǎn)下一代光學(xué)器件，包括波導(dǎo)和衍射光學(xué)元件（DOE），這是增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）應(yīng)用的核心元件。

EVG 7200納米壓印系統(tǒng)

Inkron表示，這項(xiàng)投資將有助于加快Inkron為增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）眼鏡、3D傳感器和其它DOE關(guān)鍵元件所需的高性能光學(xué)材料的開(kāi)發(fā)速度。此外，該項(xiàng)投資還將為其客戶提供元件原型設(shè)計(jì)和小批量制造服務(wù)。

EVG技術(shù)開(kāi)發(fā)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)總監(jiān)Markus Wimplinger表示：“為推動(dòng)納米壓印技術(shù)的發(fā)展，我們成立了NILPhotonics Competence Center。EVG與納米壓印產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)合作，如Inkron等，利用我們?cè)诩{米壓印方面的專業(yè)知識(shí)加速新器件和新應(yīng)用的開(kāi)發(fā)。與Inkron合作，我們很榮幸有機(jī)會(huì)為他們開(kāi)發(fā)先進(jìn)光刻膠，這對(duì)下一代光學(xué)器件制造至關(guān)重要。”

除納米壓印設(shè)備，Inkron還購(gòu)入了光學(xué)結(jié)構(gòu)制造設(shè)備和測(cè)試設(shè)備（包括器件性能和可靠性測(cè)試），相關(guān)的設(shè)備投入還將繼續(xù)進(jìn)行。Inkron對(duì)外表示已經(jīng)成立了一支專業(yè)團(tuán)隊(duì)，以支持Inkron納米壓印生態(tài)系統(tǒng)。該團(tuán)隊(duì)由Inkron副總裁JanneKylm?博士領(lǐng)導(dǎo)，材料科學(xué)家、光刻工藝工程師和光學(xué)專家等組成。

Inkron運(yùn)營(yíng)副總裁Jukka Perento作為該公司納米壓印業(yè)務(wù)的主導(dǎo)者，對(duì)此發(fā)表評(píng)論：“我們?yōu)槟芗涌煨阅芨鼉?yōu)的創(chuàng)新光學(xué)樹(shù)脂技術(shù)開(kāi)發(fā)而感到興奮。新型EVG 7200納米壓印系統(tǒng)在這一戰(zhàn)略舉措中起到了至關(guān)重要的作用。EVG 7200提升的工藝能力將幫助我們?yōu)榭蛻艚鉀Q關(guān)鍵性能路線圖，助力客戶取得成功。”Perento補(bǔ)充說(shuō)：“我們的納米壓印高折射率材料、與之匹配的間隙填充鍍膜，結(jié)合EVG的納米壓印系統(tǒng)，將為光學(xué)制造商提供關(guān)鍵的晶圓級(jí)解決方案，以實(shí)現(xiàn)其最新研發(fā)成果的量產(chǎn)。”

Inkron提供各種納米壓印加工材料和光學(xué)鍍膜，波段涵蓋從可見(jiàn)光到近紅外光范圍，折射率范圍為1.1~2.0。

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