首批設(shè)備進場！中科飛測橢偏膜厚量測儀正式搬入廈門士蘭集科

繼士蘭微電子12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片項目于5月10日宣布正式通電后，工藝設(shè)備也將開始陸續(xù)進場。5月20日，深圳中科飛測科技有限公司（以下簡稱“中科飛測”）橢偏膜厚量測儀作為首批設(shè)備，正式搬入廈門士蘭集科微電子有限公司（以下簡稱“士蘭集科”）。

中科飛測是一家以在集成電路設(shè)備領(lǐng)域有多年經(jīng)驗的研發(fā)和管理團隊為核心，自主研發(fā)和生產(chǎn)工業(yè)智能檢測裝備的高科技創(chuàng)新企業(yè)。同時，中科飛測也是目前國內(nèi)唯一一家在Metrology（量測）和Inspection（缺陷檢測）兩大領(lǐng)域均在國內(nèi)一線半導(dǎo)體制造廠商取得批量訂單的半導(dǎo)體光學(xué)檢測設(shè)備供應(yīng)商。

士蘭集科由廈門半導(dǎo)體投資集團有限公司與杭州士蘭微電子股份有限公司共同出資設(shè)立。根據(jù)規(guī)劃，士蘭集科將投資170億元在廈門海滄建設(shè)兩條12英寸特色工藝芯片生產(chǎn)線。

2018年10月18日，士蘭廈門12英寸特色工藝芯片生產(chǎn)線暨先進化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線在廈門海滄動工，這是國內(nèi)首條12英寸特色工藝芯片制造生產(chǎn)線和下一代化合物生產(chǎn)線。2020年5月10日，士蘭廈門12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片項目正式通電。隨著該項目的正式通電，工藝設(shè)備將從5月中旬陸續(xù)進場，預(yù)計年底通線。