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了解MEMS傳感器的基本流程和基本工藝

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2020-06-20 10:02 ? 次閱讀
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現(xiàn)任甘肅省科學院傳感技術(shù)研究所副所長的宋玉哲,畢業(yè)時正值該院傳感技術(shù)研究所的轉(zhuǎn)型期和瓶頸期,急需能夠從事敏感材料的制備及其傳感性能研究方面的專業(yè)人才。

憑借身上那股不服輸?shù)暮輨艃?,在堆積如山的學術(shù)書籍和成百上千次的實驗中取得了滿意的成果。他的同事們也經(jīng)常說,這項研究太難了,國內(nèi)也沒幾個能搞出來,都勸她不要那么拼命。對此,她總是微微笑道,“科研工作沒有豪言壯語和遠大的理想抱負,有的只是踏踏實實、兢兢業(yè)業(yè)的工作態(tài)度和工作作風” 。

2011年,在她的努力和帶領(lǐng)下確立了“MEMS傳感器”的研究方向,成立了MEMS研究室,從實驗室的規(guī)劃建設(shè),到前端自旋閥、磁隧道結(jié)的研制,直至成功研發(fā)出MEMS傳感器,前后堅持了近6年。MEMS傳感器的研發(fā)成功,不僅僅只是一款傳感器的成果而已,而是標志著傳感所打通了所有巨磁阻MEMS傳感器的基本流程和基本工藝,為后期其它MEMS傳感器的研制奠定了基礎(chǔ)。

近年來,傳感所以巨磁阻傳感器的研制為MEMS傳感器的研發(fā)突破口,不斷擴展研究領(lǐng)域,宋玉哲著力于具有巨磁阻效應的自旋閥和磁隧道結(jié)的研制,這兩類晶圓是巨磁阻傳感器研發(fā)最前端的關(guān)鍵環(huán)節(jié),該技術(shù)被跨國公司長期壟斷,是國內(nèi)亟需解決的行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)。

研制自旋閥的期間,恰逢宋玉哲的哺乳期,但她依舊克服了諸多困難,和研究室人員一起不分黑白和節(jié)假日的進行技術(shù)攻關(guān),從設(shè)備磨合和修正,到巨磁阻理論研究和制備技術(shù)研究,終于獲得了制備工藝穩(wěn)定、性能參數(shù)優(yōu)良、達到國際先進水平的自旋閥晶圓。

宋玉哲孩子出生后剛過哺乳期,因為研發(fā)國產(chǎn)磁隧道結(jié)項目的迫切需要,在科研和家庭之間,她帶著依依不舍的留戀,毅然投入到了項目的研發(fā),將孩子托付給家里的老人照看,赴美國進行歷時9個月的培訓和技術(shù)深造?;貒院螅斡裾艹晒崿F(xiàn)了國際領(lǐng)先的磁隧道結(jié)的制備。自旋閥和磁隧道結(jié)的成功研制,為后期巨磁阻MEMS傳感器的研制奠定了基礎(chǔ)。宋玉哲經(jīng)常給同事說:“對家里的老人和孩子,有時候心里也挺慚愧,但是一想到自己所從事的研究,會解決部分行業(yè)關(guān)鍵技術(shù),心里也就好受多了”。

在進行自旋閥和磁隧道結(jié)攻關(guān)的同時,宋玉哲又帶領(lǐng)研究室人員馬不停蹄的投入到了百級潔凈實驗室的建設(shè),從爭取實驗室的建設(shè)經(jīng)費,到實驗室的規(guī)劃和設(shè)計,建設(shè)的招標和各類程序,乃至實驗室的建設(shè)和運行,不敢有絲毫馬虎。最終,用了2年的時間就建成了國內(nèi)先進的百級超凈實驗室,保障了后續(xù)MEMS工藝的環(huán)境條件,建立了一條國際先進的MEMS傳感器研發(fā)線。

隨后,在建設(shè)百級潔凈實驗室和購置儀器設(shè)備的基礎(chǔ)上,她又帶領(lǐng)研究室科研人員進行了MEMS的工藝技術(shù)攻關(guān),打通了MEMS工藝的流程參數(shù),完成第一款MEMS傳感器-轉(zhuǎn)速傳感器芯片的研發(fā),相繼研制出了巨磁阻MEMS磁場傳感器。

一路走來,宋玉哲主持和參加了20余項課題的研究工作,發(fā)表科技論文30余篇,申請美國發(fā)明專利和中國發(fā)明專利共6項,獲甘肅省科技進步三等獎3項,“甘肅省三八紅旗手”1項。
責任編輯:pj

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