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中微公司5納米刻蝕設(shè)備獲批量訂單 力爭未來十年內(nèi)成為國際一流半導(dǎo)體設(shè)備公司

半導(dǎo)體動態(tài) ? 來源:全球半導(dǎo)體觀察 ? 作者:張明花 ? 2020-04-17 15:28 ? 次閱讀
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隨著年報(bào)密集披露期到來,各上市公司近日相繼發(fā)布其2019年業(yè)績報(bào)告。作為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)以及國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備重要廠商之一,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)一直備受關(guān)注,那么,過去一年里其交出了怎樣一份答卷?

4月16日,中微公司發(fā)布其2019年年報(bào),并于4月17上午召開了業(yè)績說明會。年報(bào)顯示,2019年中微公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入19.47億元,同比增長18.77%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤1.89億元,同比增長107.51%。按季度分,中微公司2019年第一季度到第四季度分別實(shí)現(xiàn)營收為3.76億元、4.24億元、4.16億元、7.29億元,其中第四季度營收增長明顯。

毛利率方面,中微公司2019年度毛利率為34.93%,較上年度減少0.57個(gè)百分點(diǎn)。對于毛利率下降,中微公司董事長、總經(jīng)理尹志堯在業(yè)績說明會中表示,公司刻蝕設(shè)備的毛利率已達(dá)到國際同行的水平,但MOCVD設(shè)備的毛利率在公司設(shè)備進(jìn)入市場之前,由于美國和德國設(shè)備公司的激烈競爭,已經(jīng)降到很低的水平。由于中微的MOCVD設(shè)備的銷售占公司銷售相當(dāng)?shù)谋壤?,所以公司的總毛利率相比偏低?/p>

研發(fā)方面,2019年度中微公司的研究開發(fā)支出共計(jì)4.25億元,占營業(yè)收入21.81%,較上年度的24.65%減少2.84個(gè)百分點(diǎn)。截至2019年12月31日,公司已申請1467項(xiàng)專利,其中發(fā)明專利1297項(xiàng);已獲授權(quán)專利1015項(xiàng),其中發(fā)明專利859項(xiàng)。

5納米刻蝕設(shè)備獲批量訂單

尹志堯在業(yè)績說明會中披露,截至2019年底,中微公司1300多臺刻蝕機(jī)和MOCVD設(shè)備的反應(yīng)臺已在40多條亞洲、歐洲和國內(nèi)先進(jìn)生產(chǎn)線量產(chǎn)。

年報(bào)顯示,在邏輯集成電路制造環(huán)節(jié),中微公司開發(fā)的高端刻蝕設(shè)備已運(yùn)用在國際知名客戶65納米到7納米的芯片生產(chǎn)線上;同時(shí),公司根據(jù)先進(jìn)集成電路廠商的需求,已開發(fā)出5納米刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工,并已獲得行業(yè)領(lǐng)先客戶的批量訂單。目前公司正在配合客戶需求,開發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進(jìn)大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝,能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備。

在3D NAND芯片制造環(huán)節(jié),中微公司的電容性等離子體刻蝕設(shè)備可應(yīng)用于64層的量產(chǎn),同時(shí)根據(jù)存儲器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層關(guān)鍵刻蝕應(yīng)用以及相對應(yīng)的極高深寬比的刻蝕設(shè)備和工藝。

此外,中微公司的電感性等離子刻蝕設(shè)備已在多個(gè)邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產(chǎn)線上量產(chǎn),根據(jù)客戶的技術(shù)發(fā)展需求,正在進(jìn)行下一代產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā),以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求,并進(jìn)行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設(shè)備的研發(fā)。

MOCVD設(shè)備方面,中微公司研發(fā)的用于制造深紫外光LED的MOCVD設(shè)備已在行業(yè)領(lǐng)先客戶端驗(yàn)證成功。用于Mini LED生產(chǎn)的 MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作正在有序進(jìn)行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設(shè)備也在開發(fā)中。

中微公司指出,目前公司雖然已有了長足的發(fā)展,但距離公司的長遠(yuǎn)目標(biāo)、距離行業(yè)和資本市場的期望還有很大的改進(jìn)、發(fā)展空間。

國際貿(mào)易摩擦及新冠疫情影響

近年來國際貿(mào)易和科技方面的摩擦不斷,今年以來新型冠狀病毒疫情持續(xù)蔓延,對產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)產(chǎn)生了不同程度的影響,尹志堯在業(yè)績說明會上對相關(guān)問題作出了回應(yīng)。

關(guān)于新冠疫情對生產(chǎn)、銷售及原材料供應(yīng)方面的影響,尹志堯表示,中微公司有400多家材料和零部件供應(yīng)廠商,疫情期間公司一直緊密跟蹤供應(yīng)廠商的供貨情況,有問題及時(shí)解決,保持了100%的材料按時(shí)供應(yīng)率和100%設(shè)備的按時(shí)運(yùn)出率。有極少數(shù)供應(yīng)商提供的極個(gè)別零部件,由于疫情影響產(chǎn)能調(diào)整,到今年中期有一定供貨風(fēng)險(xiǎn),中微公司正和這幾家供應(yīng)廠商及時(shí)溝通,要求零部件按時(shí)到位。

生產(chǎn)線方面,尹志堯表示公司在2月下旬生產(chǎn)線已完全恢復(fù),公司各方面生產(chǎn)經(jīng)營情況都已走入正軌。在設(shè)備按計(jì)劃運(yùn)出方面,除武漢地區(qū)客戶有些推遲,其他地區(qū)情況都按計(jì)劃進(jìn)行。至于今年的訂單方面,尹志堯表示訂單整體向好,但下半年還得看疫情影響情況。

至于國際貿(mào)易和科技方面的摩擦,尹志堯表示,近年來國際貿(mào)易和科技方面的摩擦不斷,對國內(nèi)部分企業(yè)已經(jīng)有相當(dāng)?shù)挠绊?,但中微公司從成立開始就嚴(yán)格遵守相關(guān)法律法規(guī),一直保持與相關(guān)國家和地區(qū)政府部門的及時(shí)溝通。到目前為止,中微的業(yè)務(wù)尚未受到實(shí)質(zhì)性的影響。

尹志堯指出,如果全球貿(mào)易和科技的摩擦繼續(xù)惡化,國際化的高科技公司都會受到更大影響。中微公司正密切關(guān)注國際形勢的變化,對潛在的不利因素和負(fù)面影響持續(xù)進(jìn)行評估,并制定相應(yīng)的防范預(yù)案。

將通過投資并購?fù)卣拱鎴D

在未來發(fā)展方面,中微公司在年報(bào)中表示,未來公司將通過投資、并購等外延式成長途徑擴(kuò)大在集成電路領(lǐng)域及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品和市場覆蓋,并繼續(xù)探索核心技術(shù)在國計(jì)民生中創(chuàng)新性的應(yīng)用,不斷推動企業(yè)健康發(fā)展。

中微公司進(jìn)一步指出,在高度競爭的產(chǎn)業(yè)形勢下,公司考慮在有機(jī)成長的同時(shí),通過投資并購國內(nèi)外高端的半導(dǎo)體設(shè)備廠商,使公司能夠覆蓋更多的產(chǎn)品品類、占領(lǐng)更多細(xì)分市場,會重點(diǎn)考慮并購等離子體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備和測量設(shè)備等領(lǐng)域的集成電路前道設(shè)備公司,以及其他泛半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備公司。

據(jù)了解,中微公司已參投了沈陽拓荊、Solayer、洪樸科技等企業(yè),目前在上述三家企業(yè)的持股比例分別為11.20%、15.38%、23.73%。

尹志堯表示,今后公司計(jì)劃繼續(xù)通過有機(jī)生長,不斷開發(fā)新的產(chǎn)品,不斷提高市場占有率;同時(shí)將在適當(dāng)時(shí)機(jī),通過投資、并購等外延式生長途徑,擴(kuò)大產(chǎn)品和市場覆蓋,力爭在未來十年內(nèi),發(fā)展成為在規(guī)模上和市場占有率上成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。
責(zé)任編輯:wv

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