有一種“篤定”叫我有操作手冊(cè)。遇見對(duì)的，就讓自己的一顆心，從此安定下來(lái)！

MPI TS200操作手冊(cè)

第一步：

準(zhǔn)備本次測(cè)試的 DUT 和相應(yīng)的探針與電纜，將相應(yīng)的探針擺放完畢，佩戴相應(yīng)的手套、防靜電手環(huán)等

第二步：

打開 CCD 開關(guān)、光源開關(guān)并調(diào)節(jié)光強(qiáng)度

第三步：

打開真空氣泵的開關(guān)

第四步：

將拉桿抬起防止誤操作而損傷探針或待測(cè)件

第五步：
拉出載物臺(tái)后并放置待測(cè)器件，按照 DUT 大小打開相應(yīng)尺寸的真空吸附開關(guān)。

第六步：

將機(jī)臺(tái)艙門關(guān)閉，移動(dòng) chuck，將待測(cè)物移動(dòng)至顯微鏡光斑正下方，方便觀測(cè)。

第七步：

通過(guò)chuck上X、Y、Z、Theta四個(gè)方向的千分尺可再次精準(zhǔn)調(diào)節(jié)DUT的位置。

第八步：

由于每一片芯片的反光度不同，調(diào)節(jié)光源的亮度至合適為止。

第九步：

通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)顯微鏡至小倍率確定待測(cè)芯片位置，然后切換至大倍率進(jìn)行扎針測(cè)試。

第十步：

探針臺(tái)拉桿緩慢放下的同時(shí)觀察探針是否與待測(cè)件接觸，如果即將接觸請(qǐng)停止，升高探針座Z軸旋鈕，直到拉桿全部放下為止前探針頭部都不要和DUT接觸。

第十一步：

旋轉(zhuǎn)各個(gè)探針座的 X、Y、Z 來(lái)扎 PAD 實(shí)現(xiàn)測(cè)試。

第十二步：

測(cè)試結(jié)束后，將探針臺(tái)拉桿抬起、探針回到初始化位置，防止錯(cuò)誤操作。

第十三步：

更換卡爾文探針流程如下，將背面螺絲松開后更換，更換完畢后鎖緊螺絲。

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