壓阻式傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測(cè)量和控制。

壓阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)：

1、靈敏度非常高，有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測(cè)量；

2、分辨率高，例如測(cè)量壓力時(shí)可測(cè)出10～20Pa的微壓；

3、測(cè)量元件的有效面積可做得很小，故頻率響應(yīng)高；

4、可測(cè)量低頻加速度和直線加速度。

壓阻式傳感器的缺點(diǎn)：

壓阻式傳感器最大的缺點(diǎn)是溫度誤差大，故需溫度補(bǔ)償或恒溫條件下使用。