Axys 407機(jī)器人兼容1級(jí)潔凈室，能夠?qū)?00毫米或300毫米晶圓從晶圓盒或載體中的任何位置移動(dòng)到任何加工工具的加工站或加載鎖中。憑借其專有的SmartCourse軟件，操作員可以指定復(fù)雜的機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，并使其能夠從兩個(gè)300毫米的前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）移動(dòng)晶圓，而無需使用昂貴的水平線性軌道。

許多老一代機(jī)器人采用了皮帶和皮帶輪驅(qū)動(dòng)部件，可以磨損和滑動(dòng)。該公司表示，Asyst的Axys 407機(jī)器人由一個(gè)終生密封的齒輪系統(tǒng)直接驅(qū)動(dòng)，可以減少維護(hù)停機(jī)時(shí)間。此外，該機(jī)器人還包含四個(gè)主要的現(xiàn)場可更換子組件，與舊機(jī)器人設(shè)計(jì)相比，可將零件總數(shù)減少五倍。

Asyst表示，所有這一切使得Axys 407能夠在故障前實(shí)現(xiàn)超過1000萬次平均周期的可靠性（MCBF）。

“半導(dǎo)體工廠向更高的自動(dòng)化邁進(jìn)制造流程日益復(fù)雜，給OEM提供了更大的壓力，要求他們提高工具的性能和生產(chǎn)率，“Asyst全球客戶運(yùn)營高級(jí)副總裁Dennis Riccio說。 “這反過來推動(dòng)了對(duì)更可靠的機(jī)器人的需求，以便在整個(gè)晶圓廠加工時(shí)將晶圓移入和移出加工工具?！?/p>

Axys 407也是Asyst's的一個(gè)組成部分。 Plus Portal是一個(gè)交鑰匙工具自動(dòng)化解決方案，可實(shí)現(xiàn)OEM生產(chǎn)工具與先進(jìn)的晶圓廠自動(dòng)化系統(tǒng)之間的無縫集成。

Asyst提供Axys 407作為業(yè)界最大的產(chǎn)品之一的直接替代品Riccio補(bǔ)充說，常用的上一代晶圓傳輸機(jī)器人。 “我們相信這是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)第一次提供此類產(chǎn)品。此外，我們正在與客戶密切合作，以確保我們的Axys平臺(tái)完全集成到他們的工藝工具中，以確保高水平的性能。“

Axys 407機(jī)器人目前正在主要的半導(dǎo)體設(shè)備OEM站點(diǎn)進(jìn)行運(yùn)輸和測試。生產(chǎn)交付計(jì)劃于本月開始。